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臺式檢漏儀

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UL1000專用氦檢漏儀

2016-10-26 點擊:


產 品 說 明

UL1000氦質譜檢漏儀

INFICON(德國) UL1000移動式氦檢漏儀專門設計用于滿足苛刻的工業檢漏要求:具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快,響應精確迅速,系統安可靠等特點。
UL1000符合微電子工業生產的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪,至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長平衡時間的運算法則,都無不顯示了其無與倫比的優越性。
系統軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
UL1000具有可轉動的控制界面,裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態信息,這樣可遠距離方便地觀察讀值。通過E-MAIL更新軟件,新的固件可通過標準接口在數分鐘內完成安裝。
產品應用:

半導體工藝設備的維護,該設備本身帶或未帶有渦輪分子泵
工藝氣體系統的檢測與安裝
元器件在組裝前的漏率測試
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
優勢所在:

◆ 具有獨特的ICAL本底穩定功能,提供在10-12毫巴 ?/ 秒范圍內無比優越的測量速度和穩定性。


270度旋轉的顯示器,大而清楚的字體可遠距離方便地觀察讀值??梢詳碉@,模擬顯和趨勢顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件,易于使用


德國萊寶高性能機械泵,抽速:163/小時??稍诘蜏丨h境下啟動檢漏儀



◆ 德國普發三級渦輪進氣分子泵,抽速:>70升/秒,采用半磁懸浮軸承,即使90000轉/分鐘的轉速也不會磨損軸承,高氦壓縮比:比其他檢漏儀高24倍。



◆ 兩條鍍釔的銥絲,當一只燈絲斷了以后,能自動切換到另一只。UL1000獨特的結構設計使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。


UL1000采用全逆擴散檢漏方式,即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴散檢漏方式。有效地減少對檢漏儀質譜室的污染。UL1000的質譜室終生免維護。


◆ 采用先進的毛細管式TL7校準漏孔,不受環境溫度變化影響,因此不需要溫度補償。獨特的測試罐校準模式不僅校準儀器,也校準檢漏罐,是最精確的校準。


◆ 英??倒驹诒本?,上海和廣州設有維修中心及備件倉庫,可以提供24小時服務。工程師全部在德國總部接受過嚴格培訓。國內的各維修中心存有備用氦檢漏儀,可在緊急情況下提供給用戶免費使用。 INFICON有指定維修代理,可提供日常技術支持及維修



技術參數
最小可檢漏率(按AVS2.1和EN1518標準)
<5×10-12mbar.l/s
最小可檢漏率(吸槍模式)
<3×10-8mbar.l/s
入口壓強                       粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
抽泵抽速
16-25立方米/小時
氦氣抽速(進氣口處)    粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可檢質量數
2、3、4amu, 氫,3氦,氦
電源電壓
110-120V;220-240V
重量
110公斤;242磅
尺寸,包括手把(長×寬×高)
1068×525×850毫米

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